遮罩以及遮罩的制造方法

摘要

一种遮罩的制造方法，包括步骤：提供基板，其具有表面；于基板上形成光阻图案，并使光阻图案覆盖于表面的第一部分；提供金属框，其具有内壁且围构出框内区域，其中框内区域的面积小于基板的表面的面积；组合金属框及基板，使内壁与表面连接且光阻图案露出于框内区域；以及于框内区域进行金属沉积，并在表面上形成沉积金属层。本发明还提供一种遮罩。