一种阵列式原子层热电堆热流传感器

摘要

本发明涉及航空航天空气动力学地面测试领域，公开了一种阵列式原子层热电堆热流传感器，所述传感器包括传感器基座、信号引出端、敏感层基底、敏感层；所述的传感器基座上阵列排布多个凹槽，所述凹槽内粘接敏感层基底；所述的敏感层基底上沉积有敏感层；所述敏感层两端分别连接一个信号引出端；所述的敏感层通过信号引出端与外部测量设备连接。本发明有效解决了现有技术中采用单点式传感器阵列排布方式的安装结构复杂，而且分辨率较低问题，可实现多点同步测量，空间分辨率高，热流频响高。