公开/公告号CN114121442A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 西安交通大学;
申请/专利号CN202111307068.0
申请日2021-11-05
分类号H01F27/28(20060101);H01F27/32(20060101);H01F27/24(20060101);H01F17/04(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人贺小停
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2023-06-19 14:19:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
公开
发明专利申请公布
机译: 用于低介电铜镶嵌结构的端点检测方案的系统,方法和介质,可改善介电和铜损
机译: 用于低介电铜镶嵌结构的端点检测方案的系统,方法和介质,可改善介电和铜损
机译: 用于低介电铜镶嵌结构的端点检测方案的系统,方法和介质,可改善介电和铜损