3D多层高介电常数高功率密度超级电容器和微加工方法

摘要

本发明公开一种3D多层高介电常数高功率密度超级电容器，包括多个电容，所述多个电容通过左电极、右电极和连线层连接，所述每个电容，包括：介质层，所述介质层设置硅晶片处；左侧金属层，所述左侧金属层连接于所述介质层的左侧；右侧金属层，所述右侧金属层连接于所述介质层的右侧；所述左侧金属层、介质层和右侧金属层之间以非平面形式贴合并叠加呈多层，形成一个3D多层电容。本发明的超电容为纯物理性超电容，其放电过程中不涉及离子电子交换化学过程，放电功率高、存储能量大。