具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品

摘要

本申请涉及具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品。一种制品，其包括：具有相对主表面的无机氧化物基材；和布置在基材的第一主表面上的光学膜结构，所述光学膜结构包括以下一种或多种：含硅氧化物、含硅氮化物和含硅氧氮化物，以及约50nm至小于500nm的物理厚度。制品展现出：在约100nm压痕深度测得的8GPa或更大的硬度，或者在约100nm至约500nm的压痕深度范围测得的9GPa或更大的最大硬度，所述硬度和最大硬度通过布氏压痕计硬度测试测量。此外，制品展现出小于1％的单侧适光平均反射率。