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一种抗固体颗粒冲蚀的防护涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种抗固体颗粒冲蚀的防护涂层,包括基体,以及在基体表面依次镀有Ti层、Ti2AlN层、TiAlN层,其中,Ti层、Ti2AlN层为过渡层。该防护涂层具有较高的抗冲蚀性能。本发明还公开了该防护涂层的制备方法,包括采用电弧离子镀技术,在基体表面沉积形成Ti层;采用直流磁控溅射技术,通过Al靶材和氮气,在所述的Ti层表面沉积形成Ti‑Al‑N层;采用电弧离子镀技术,通过TiAl靶在所述的Ti‑Al‑N层表面形成TiAlN层,得到Ti/Ti‑Al‑N/TiAlN复合涂层,然后进行退火处理得到Ti/Ti2AlN/TiAlN防护涂层。该制备方法工艺简单,操作过程简单易控。

著录项

  • 公开/公告号CN114086117A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202111359649.9

  • 申请日2021-11-17

  • 分类号C23C14/06(20060101);C23C14/02(20060101);C23C14/16(20060101);C23C14/32(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/58(20060101);

  • 代理机构33224 杭州天勤知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘诚午

  • 地址 315201 浙江省宁波市镇海区中官西路1219号

  • 入库时间 2023-06-19 14:17:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 专利申请号:2021113596499 申请日:20211117

    实质审查的生效

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