一种用于SCM截面样品无损定位的方法及系统

摘要

本申请公开了一种用于SCM截面样品无损定位的方法，包括：标记待测样品，并根据所述标记确定待测截面位置；用透明封装材料封装所述待测样品；去除部分所述待测样品及部分所述透明封装，并露出所述待测截面；当所述待测截面为目标待测截面时，确定待测点；在与所述待测点位于同一平面的所述封装上设定坐标原点，并确定所述待测原点与所述坐标原点之间的相对位置坐标；根据所述相对位置坐标在扫描电容显微镜样品台上测试所述待测点。本申请专利提出的方法降低了样品的制备难度，保护了样品的完整性，提高了定位的准确度。本申请方法具有操作简单、适用范围广、测试结果准确的优点。