成像装置中蠕变效应的补偿

摘要

本发明涉及一种微光刻光学成像装置的布置，该布置包括第一支撑结构和第二支撑结构，第一支撑结构被配置为支撑成像装置的至少一个光学元件。第一支撑结构通过振动解耦装置的多个支撑弹簧装置支撑第二支撑结构。第二支撑结构支撑测量装置，该测量装置被配置为在空间中至少一个自由度直到所有六个空间自由度测量至少一个光学元件相对于参考的位置和/或取向。还设置减少装置，用于在至少一个校正自由度上减少第一支撑结构与第二支撑结构之间的静态相关情况的改变。减少装置包括磁性装置，所述磁性装置运动学上平行于在第一支撑结构与第二支撑结构之间的支撑装置而起作用，磁性装置被配置为施加磁性支撑力以抵消相关情况的改变。