用于制造显示装置的设备和方法以及制造掩模套件的方法

摘要

本发明涉及用于制造显示装置的设备和方法以及制造掩模套件的方法。用于制造显示装置的设备，所述设备包括掩模套件，所述掩模套件包括具有第一表面、与第一表面相对的第二表面以及穿透第一表面和第二表面的第一开口部分的硅基板，和在第二表面上的支撑基板，支撑基板具有连接至第一开口部分的第二开口部分。在第一表面处的第一开口部分的宽度小于在第二表面处的第一开口部分的宽度。