用于高温合金加工的Cr/CrN/NbN/NbXN稀土超晶格涂层及其制备方法

摘要

本发明提供了一种用于高温合金加工的Cr/CrN/NbN/NbXN稀土超晶格涂层及其制备方法，其制备方法，依次包括以下步骤：(1)调节真空度，通入氩气，在前处理后的基体表面沉积Cr过渡层，得Cr过渡层；(2)通入氮气，在Cr过渡层上沉积CrN过渡层，得CrN过渡层；(3)在Ar/N2气氛中交替沉积NbN和NbXN纳米层，沉积后自然冷却至室温，关闭电源和气体源，得用于高温合金加工的Cr/CrN/NbN/NbXN稀土超晶格涂层。本发明还包括上述方法制得的稀土超晶格涂层。本发明提高了涂层的硬度、结合力、高热稳定性、抗腐蚀性能及耐磨性，在保证切削质量的同时提高使用寿命。