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公开/公告号CN114063394A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 佳能株式会社;
申请/专利号CN202110854290.6
发明设计人 相原泉太郎;大口雄一郎;
申请日2021-07-28
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人贾金岩
地址 日本东京
入库时间 2023-06-19 14:12:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2021108542906 申请日:20210728
实质审查的生效
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