基于硅光电倍增管的亚微米单光子量级微小光斑测量方法

摘要

本发明公开的基于硅光电倍增管的亚微米单光子量级微小光斑测量方法，利用硅光电倍增管作为单光子响应探测器，结合精密位移台，通过二维或一维空间扫描和反卷积运算，得到了经过显微镜物镜聚焦的单光子量级脉冲激光光斑的尺寸与光强的空间分布。