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公开/公告号CN114050099A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中山大学;
申请/专利号CN202111267038.1
发明设计人 陈军;李晓杰;刘川;邓少芝;许宁生;
申请日2021-10-28
分类号H01J35/02(20060101);H01J9/02(20060101);H01L21/77(20170101);H01L27/12(20060101);
代理机构44102 广州粤高专利商标代理有限公司;
代理人牛念
地址 510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
入库时间 2023-06-19 14:11:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J35/02 专利申请号:2021112670381 申请日:20211028
实质审查的生效
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