一种高纯一氧化氮的制备方法及其在半导体制程中的应用

摘要

本发明涉及一氧化氮气体纯化技术领域，公开了一种高纯一氧化氮的制备方法及其在半导体制程中的应用。该制备方法包括以下步骤：将一氧化氮原料气从下部通入FeSO4吸附塔内，在塔内形成向上的涡流，并将FeSO4溶液经由螺旋状喷淋管从螺旋喷嘴喷入FeSO4吸附塔内，FeSO4吸附塔内设有磁场强度从上到下递增的梯度磁场，获得吸附液；将吸附液升温后，通入NO解吸塔中进行解吸，解吸出的气体从塔顶通入深冷冷凝器中，再通入硅胶吸附塔中，进行硅胶吸附处理。本发明采用具有特殊结构的FeSO4吸附塔对原料气中的NO进行吸收，能够减少NO的歧化，并促进FeSO4溶液将NO从原料气中分离出来，有利于获得更高纯度的高纯一氧化氮。