一种基于振镜扫描分析的激光诱导击穿光谱仪及其光谱检测方法

摘要

本发明提供一种基于振镜扫描分析的激光诱导击穿光谱仪及其光谱检测方法，属于光谱检测分析技术领域，其结构至少设置有指示红光发射器、二向色镜、高反反射镜、分光镜、以及振镜设置在同一直线光路上；激光器的激光光路指向高反反射镜，高反反射镜的高反反射面朝向振镜，振镜的光路和激光器的光路相对高反反射镜的法向相对称设置；二向色镜的反射面朝向振镜和采集透镜，振镜和采集透镜二者的光路相对二向色镜的法向相对称设置；在振镜的下游光路上设置有场镜系统，场镜的下游光路上设置有样品；采集透镜的下游聚焦光路上设置有连接光纤光谱仪的光纤接收器。本发明通过快速扫描分析增加采样点数从而实现样品的准确定性、定量分析及元素分布分析。