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光电阴极、电子管和光电阴极的制造方法

摘要

一种光电阴极,包括:基板;光电转换层,其设置在所述基板上,与光的入射相应地产生光电子;和基底层,其设置在所述基板与所述光电转换层之间,且包含铍,所述基底层具有包含铍的氮化物的第1基底层。

著录项

  • 公开/公告号CN114026668A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浜松光子学株式会社;

    申请/专利号CN202080046222.0

  • 申请日2020-05-12

  • 分类号H01J40/06(20060101);H01J43/24(20060101);H01J9/12(20060101);H01J1/34(20060101);

  • 代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人杨琦

  • 地址 日本静冈县

  • 入库时间 2023-06-19 14:06:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-02-08

    公开

    国际专利申请公布

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