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公开/公告号CN114005803A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 西安微电子技术研究所;
申请/专利号CN202111277438.0
发明设计人 李逵;巩亮;匡乃亮;郭雁蓉;黄秉欢;
申请日2021-10-29
分类号H01L23/473(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人白文佳
地址 710065 陕西省西安市雁塔区太白南路198号
入库时间 2023-06-19 14:05:00
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