一种二硫化钼薄膜、制备方法、应用及柔性健康传感器

摘要

本发明公开了一种二硫化钼薄膜、制备方法、应用及柔性健康传感器，以二氧化硅/硅片为衬底；反应源和稳定剂于有机溶剂中混合形成旋涂液，旋涂液旋涂在衬底表面至有机溶剂蒸发得到薄膜衬底；利用激光直写技术在薄膜衬底进行激光直写处理即得二维二硫化钼薄膜；所述的激光直写处理的参数包括：工作距离为160～180mm；激光功率为2～5W；脉冲频率为20～200kHz；激光间距为1～100μm；写入速度为0.1～1m/s。本发明中二维二硫化钼质量高、面积大，可以图案化制备，可以避免材料被污染，所制备的柔性应力传感器具有稳定性高，检测精度高，应变系数高，可以用于人体脉搏、呼吸、抖动等微弱信号的监测。