公开/公告号CN113983918A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 上海隐冠半导体技术有限公司;上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN202111263003.0
申请日2021-10-28
分类号G01B7/02(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人赵迎迎
地址 200135 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
入库时间 2023-06-19 14:03:27
机译: 具有宽动态范围压电涡流传感器的涡流脱落流量计
机译: 涡流检测电涡流传感器
机译: 电涡流传感器,用于非接触式测量扁平导体的角位移