用于磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样系统及其取样方法

摘要

本发明公开一种磷烷砷烷剧毒气体金属离子的取样系统及其取样方法，通过该取样装置，对于磷烷砷烷等剧毒气体中金属离子，可以做到安全取样，该装置由氮气置换吹扫装置、调压装置、流量控制装置、针阀、三级串联的吸收装置、及带颜色指示功能的尾气处理装置组成，整套装置在生物洁净柜内运行，最大程度避免通风橱内外界环境干扰，同时因砷烷磷烷剧毒、易燃易爆，EP级别洁净面板、超高纯氮气及真空装置是标准配置，同时针对该装置进行压力流量等安全性测试，首次实现磷烷砷烷等剧毒气体金属离子安全取样操作。