一种高强度的Al-Cr金属玻璃涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高强度的Al‑Cr金属玻璃涂层及其制备方法，玻璃涂层原子百分比为：铬20.3，其余为铝；涂层厚度为2.1±0.05μm，整体致密，表面粗糙度为1.9±0.1nm；涂层为单相非晶组织，合金元素Cr在涂层中完全均匀分布；其纳米压痕硬度为7.4±0.6GPa；方法如下：清洗基体表面；采用射频+直流电源共溅射制备Al‑Cr合金涂层；真空条件下充分冷却后得到高强度的Al‑Cr金属玻璃涂层。该技术的突出优势是离化率高，沉积速率快，工作温度低且元素含量可调可控，不易造成靶材元素的团聚和反溅射现象，最后在高真空镀膜室自然冷却至室温，避免因薄膜、基体热膨胀系数的不同而导致薄膜从基体脱粘，并防止高温情况下薄膜与空气接触发生氧化，使沉积原子充分扩散形成最终的Al‑Cr合金涂层。