基于高色散柱透镜和柱形凹面光栅的线扫描式光谱共焦装置

摘要

本发明公开了一种基于高色散柱透镜和柱形凹面光栅的线扫描式光谱共焦装置，包括照明模块，高色散柱透镜聚焦模块，柱形凹面光栅分光探测模块。利用高色散柱透镜将照明模块产生的宽光谱平行光束根据波长聚焦到不同轴向位置，且横向聚焦为一条直线，在测量量程内，不同波长的光的聚焦轴向位置与波长成线性关系。不同波长的反射光通过柱形凹面光栅分光后聚焦在面阵CCD像面不同区域上，根据扫描线上每个点的光谱成像结果实现样品表面形貌测量。该发明为非接触式测量装置，相比于传统单点扫描式光谱共焦装置能够大幅提升测量速度。