一种光束质量自优化的紫外激光器

摘要

本发明公开了一种光束质量自优化的紫外激光器，涉及激光器技术领域，该紫外激光器包括红外基频光模块和紫外倍频模块，红外基频光模块包括依次设置的泵浦源、透镜组、腔镜、电光晶体、激光晶体、第一至第三反射镜、小孔光阑和SESAM晶体，使得激光光束经反射形成的光路呈Z形折叠状。该紫外激光器采用电光晶体进行相位调制，使腔内横向不同位置上的位相可以改变，以此来控制不同模式的损耗；并采用小孔光阑进行空间调制，通过相位调制与空间选模方法的结合，主动抑制高阶模式，提高横基模的效率，从而改善输出光束的光强分布和质量；并且，整个调试过程避免手动调节，通过电动调节提高了精度，实现了光束质量的自动调节。