一种高压放电等离子体源的自动清洁方法及装置

摘要

本发明提供了一种高压放电等离子体源的自动清洁方法，涉及废气处理技术领域，包括：获取等离子体源电极上的各项参数；其中，参数包括高压电压、等离子体电流和废气湿度；分别判断高压电压、等离子体电流以及废气湿度与对应阈值的关系，得到判断结果；根据判断结果对等离子体进行感应加热。本发明实现了对高压放电等离子体源的高效、安全可靠的自动清洁的处理。