一种大面积石英晶片研磨装置及其研磨方法

摘要

一种大面积石英晶片研磨装置及研磨方法，所述研磨装置设有基座、支撑臂组件、研磨盘、旋转座、旋转电机、载物块和修盘环；所述基座为布置在水平面上的方形基座，在基座对角线的两端安装支撑臂组件；所述支撑臂组件包括摆臂、摆臂轴、摆臂电机、可调节臂和滚轮，所述摆臂轴下端与摆臂电机连接，摆臂轴的上端与摆臂一端固定装配，所述摆臂中部与可调节臂一端配装，在摆臂及可调节臂的另一端均安装滚轮；所述研磨盘安装在旋转座上；所述旋转座由旋转电机驱动运转；所述载物块套装在修盘环中，在载物块底面上粘接石英晶片。本发明通过对材料去除和基片固持两方面的改进设计，达到保证大面积石英晶片的加工面形满足设计要求的目的。