一种易于曝光对位的反极性红外发光二极管的制备方法

摘要

本发明涉及一种易于曝光对位的反极性红外发光二极管的制备方法，通过对对位标记位置的表面进行处理，破坏其与反射镜的粘附性，在衬底腐蚀中，剩余很薄的外延层会与永久衬底分离，同时将对位标记印在了反射镜金属上，因此可以直接用于后续的曝光对位，不需要对曝光机的CCD进行改造，降低成本，且兼容可见光产品。