一种超声波电源谐振频率跟踪方法及系统

摘要

本发明涉及一种超声波电源谐振频率跟踪方法及系统，包括以下步骤：S1、对超声波电源的输出频率和换能器的谐振频率进行匹配的初调节；S2、检测所述换能器输出的电流信号；S3、构建微分环节锁相环；将所述换能器输出的电流信号作为微分环节锁相环的输入信号；根据所述微分环节锁相环的输出信号，生成驱动信号；S4、所述驱动信号控制所述超声波电源的输出频率跟随所述换能器的谐振频率的变化而变化。通过构建微分环节锁相环，采用DDS信号发生器结合微分环节锁相环实现闭环控制，超声波电源的输出频率能够快速地跟踪换能器的谐振频率的变化，使得超声波电源工作在谐振状态下，构思精巧，跟踪性能好且易实现。