准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统

摘要

本公开提供了一种准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统，包括：环境信号采集及处理单元，用于采集所述准分子激光器的工作环境信号，并形成环境状态监测信号；多路状态互锁单元，连接至环境信号采集及处理单元，用于锁存环境状态监测信号，并输出互锁电平信号及状态上传信号；MCU主控单元，连接至多路状态互锁单元，用于接收并处理所述状态上传信号；脉冲触发输出单元，连接至多路状态互锁单元，用于接收前级触发脉冲信号，并根据多路状态互锁单元输出的互锁电平信号控制固态开关的通断。本公开能够精确控制并监测激光器每次触发出光时的电源状态，出现异常时立刻互锁输出，从而保护激光器高压脉冲电源可靠运行。