线宽参数测量方法、装置及图像处理设备

摘要

本发明提供一种线宽参数测量方法、装置及图像处理设备。该方法包括：接收待测线宽样板的像素图像；获取标准线宽样板的标准线宽参数；根据像素图像确定待测线宽样板的像素线宽参数；根据标准线宽参数、像素线宽参数和转换关系确定待测线宽样板的真实线宽参数；其中，转换关系用于表征像素线宽参数和真实线宽参数之间的关系；或者，利用最小二乘法，对像素线宽参数进行亚像素边缘识别，并根据亚像素边缘识别的结果确定待测线宽样板的真实线宽参数。本发明能够提高测量线宽参数的准确性。