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具有减少视差效应的X射线测量装置

摘要

本发明涉及一种用于X射线辐射的测量装置(20),包括:能用X射线(2)照射的样品位置(3);和用于探测从样品位置(3)发出的X射线辐射的X射线探测器(13),所述X射线探测器包括至少一个探测器模块(21‑24),所述探测器模块(21‑24)具有多个沿测量方向(MR)上依次设置的传感器元件(14;14a‑14e),这些传感器元件分别具有面重心(18),这些传感器元件(14;14a‑14e)设置在探测器模块(21‑24)的共同的传感器平面(16)中,其特征在于,所述探测器模块(21‑24)的至少多数传感器元件(14;14a‑14e)、优选所述探测器模块(21‑24)的所有传感器元件(14;14a‑14e)构造成等距的传感器元件(14;14a‑14e),对于所述等距的传感器元件,这些传感器元件(14;14a‑14e)的面重心(18)与样品位置(3)具有相同的距离R0。根据本发明的测量装置能利用平面探测器模块、尤其是半导体探测器模块来实现,并且不容易发生测量误差。

著录项

  • 公开/公告号CN113939732A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 布鲁克AXS有限公司;

    申请/专利号CN202080042192.6

  • 申请日2020-06-17

  • 分类号G01N23/20(20180101);

  • 代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;

  • 代理人俄旨淳

  • 地址 德国卡尔斯鲁厄

  • 入库时间 2023-06-19 13:54:12

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