公开/公告号CN113910391A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 福建省碧诚工贸有限公司;
申请/专利号CN202111197005.4
申请日2021-10-14
分类号B27K5/00(20060101);
代理机构44367 深圳市创富知识产权代理有限公司;
代理人孙婷婷
地址 353600 福建省南平市政和县星溪乡林屯村
入库时间 2023-06-19 13:52:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-15
授权
发明专利权授予
机译: 一种用于进行等离子体表面处理的装置,具有相同的板处理系统和使用相同的等离子体表面处理的方法
机译: 等离子体产生装置喷嘴,等离子体产生装置,等离子体表面处理装置,等离子体产生方法和等离子体表面处理方法
机译: 以及超高频等离子体产生电极,所构造的等离子体表面处理装置以及通过该电极的等离子体表面处理方法