公开/公告号CN113916829A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 西安热工研究院有限公司;
申请/专利号CN202111343023.9
申请日2021-11-12
分类号G01N21/39(20060101);G01K13/00(20210101);G01L19/00(20060101);G01M15/14(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人闵岳峰
地址 710048 陕西省西安市碑林区兴庆路136号
入库时间 2023-06-19 13:52:41
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备
机译: 带有燃气轮机的至少一个燃烧器的充气和/或堵塞装置的燃气轮机工厂和一种燃气轮机的最小的燃烧器的充气和/或堵塞装置