一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法

摘要

本发明公开了一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法。本发明的冷却结构包括用于设置于反射镜体上下侧边的上‑冷却结构和下‑冷却结构；其中，上‑冷却结构包括凹槽、凸板冷却管；该凹槽用于设置在该反射镜体的上侧边且开口朝上；该凹槽中设有液态金属；该凸板冷却管位于该凹槽上方，该凸板冷却管的凸起部分浸润于该凹槽内的液态金属中且与该凹槽非接触；所述下‑冷却结构包括凹槽冷却管、凸板；该凸板用于设置在该反射镜体下侧边且凸起部分朝下；该凹槽冷却管的凹槽结构中设有液态金属；该凹槽冷却管位于凸板下方，该凸板的凸起部分浸润于该凹槽冷却管的液态金属中且与该凹槽冷却管非接触。本发明可实现上下双边均能冷却和振动解耦。