公开/公告号CN113922379A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 费籁电气(上海)有限公司;
申请/专利号CN202111278674.4
发明设计人 李稳良;
申请日2021-10-31
分类号H02J3/01(20060101);
代理机构
代理人
地址 201600 上海市松江区小昆山镇港德路518号1幢3层303室
入库时间 2023-06-19 13:51:08
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流