公开/公告号CN113814004A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国石化扬子石油化工有限公司;中国石油化工股份有限公司;
申请/专利号CN202010565453.4
申请日2020-06-19
分类号B01J38/10(20060101);B01J38/04(20060101);B01J38/02(20060101);B01J38/00(20060101);G05D27/02(20060101);
代理机构32207 南京知识律师事务所;
代理人万婧;孙君衍
地址 210048 江苏省南京市六合区大厂新华路777号
入库时间 2023-06-19 13:48:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-18
实质审查的生效 IPC(主分类):B01J38/10 专利申请号:2020105654534 申请日:20200619
实质审查的生效
机译: 连续膜沉积法的连续表面处理方法及使用常压等离子体的连续表面处理系统或连续膜沉积系统
机译: 常压等离子清洗系统,用于将能够连续放入和清洗工件的膜清洗成高速等离子发生器
机译: 在线连续式常压CVD系统的基座