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用于堆叠纳米带2D晶体管的电荷转移间隔体

摘要

实施例包括二维(2D)半导体片晶体管以及形成这种器件的方法。在实施例中,一种半导体器件包括2D半导体片的堆叠体,其中,所述2D半导体片中的个体2D半导体片具有第一端和与第一端相对的第二端。在实施例中,第一间隔体在所述2D半导体片的第一端之上,并且第二间隔体在所述2D半导体片的第二端之上。实施例还包括在第一间隔体与第二间隔体之间的栅电极、与所述2D半导体片的第一端相邻的源极接触部和与所述2D半导体片的第二端相邻的漏极接触部。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-07-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/778 专利申请号:202011522427X 申请日:20201221

    实质审查的生效

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