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带有形状记忆合金和磁耦合机构的掩模版笼式致动器

摘要

本文中的实施例描述了用于为物体提供支撑的方法和安全装置。一种安全装置包括具有驱动电机的驱动侧、以及从动侧。安全装置的从动侧包括外壳和安全闩锁,该外壳具有沿着外壳的长度延伸的旋转轴。从动侧经由旋转轴的第一端处的非接触式磁耦合装置被耦合到驱动电机,并且安全闩锁被耦合到旋转轴的与旋转轴的第一端相对的第二端。驱动电机被配置为经由非接触式磁耦合装置在驱动侧引起安全闩锁在径向方向上的旋转。

著录项

  • 公开/公告号CN113811818A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASML控股股份有限公司;

    申请/专利号CN202080033776.7

  • 发明设计人 H·克里什南;K·S·多希;

    申请日2020-04-28

  • 分类号G03F7/20(20060101);

  • 代理机构11256 北京市金杜律师事务所;

  • 代理人赵林琳

  • 地址 荷兰维德霍温

  • 入库时间 2023-06-19 13:43:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2020800337767 申请日:20200428

    实质审查的生效

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