公开/公告号CN113811818A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-17
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML控股股份有限公司;
申请/专利号CN202080033776.7
申请日2020-04-28
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人赵林琳
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 13:43:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2020800337767 申请日:20200428
实质审查的生效
机译: 形状记忆合金致动器,制造形状记忆合金致动器的装置,用于拉伸形状记忆合金致动器的方法以及制造形状记忆合金致动器的方法
机译: 形状记忆合金致动器,用于制造形状记忆合金致动器的设备,用于串起形状记忆合金的方法和用于制造形状记忆合金致动器的方法
机译: 形状记忆合金的拉伸方法,形状记忆合金致动器的制造方法,形状记忆合金致动器以及形状记忆合金致动器的制造装置