用于多级RF功率脉冲的射频(RF)信号发生器的自动频率调谐的方法和系统

摘要

二维频率搜索网格由表示RF信号发生器在第一操作状态下的操作频率设定点的第一坐标轴和表示所述RF信号发生器在第二操作状态下的操作频率设定点的第二坐标轴定义。所述RF信号发生器具有在第一操作状态下的第一输出功率电平和在第二操作状态下的第二输出功率电平。所述RF信号发生器通过在第一操作状态和第二操作状态之间循环交替而以多级RF功率脉冲模式操作。自动搜索过程在二维频率搜索网格内执行，以同时确定所述RF信号发生器在第一操作状态下的的操作频率设定点的最佳值和所述RF信号发生器在第二操作状态下的的操作频率设定点的最佳值。