一种球形尖端微纳热电偶探针及其制备方法

摘要

本发明公开了一种球形尖端微纳热电偶探针及其制备方法。该热电偶探针主要由同轴四层结构组成：基极为微纳尖端呈球形的钨探针，介质层为绝缘层，外极为铂，最外层为疏水层。使用时通过将不同尺寸的球形尖端微纳热电偶探针应用于待测部位，可以测量表面积10‑50μm2球形区域的温度。和目前报导的微纳热电偶相比，本发明的球形尖端微纳热电偶探针具有制备形貌均一性好、无热滞后、温度‑热电曲线线性特性强、热电重复性和稳定性高、塞贝克系数均一性好的特性。本发明在形貌稳定性提高的同时，测定微纳尺度温度数据过程的稳定性也得到了提高。