一种阵列式多出口薄膜节流器结构

摘要

一种阵列式多出口薄膜节流器结构，包括下压盖、橡胶垫、弹性膜片、上压盖、进气盖，进气盖与上压盖紧固连接，进气盖与上压盖之间设有节流气进气腔，下压盖与上压盖紧固连接，下压盖与上压盖之间依次堆叠设有下橡胶垫、弹性膜片和上橡胶垫，弹性膜片与下压盖之间设有多个圆周阵列的压力平衡腔，弹性膜片与上压盖之间设有多个圆周阵列的节流气腔，各节流气腔之间互不连通，节流气腔内设有节流喷嘴，每个节流气腔都设有独立的出气口。本发明通过采用单节流气进气口和多个独立且密封隔绝的节流气出气口模式，可同时满足下游多个执行元件的不同节流需求；当其用于控制静压干气密封或气体推力轴承时，理论上具有无限大的轴向气膜刚度和角向气膜刚度。