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一种透过率和反射率测量仪及其测量方法

摘要

本发明提供一种透过率或反射率测量仪及其测量方法,解决现有光学元件透过率或反射率测试方法,只适用于高反或高透光学元件,探测器误差和光源稳定性对测量结果影响较大的问题。测量仪包括激光光源、设在激光光源出射光路上起偏器和分光镜、旋转单元、第一探测器、第二探测器和信号单元;衰减轮盘、第一探测器依次位于分光镜反射光路上;旋转单元包括定距转轴、二维扫描机构和环形滑轨;定距转轴位于分光镜透射光路上;二维扫描机构设在定距转轴上,用于安装被测光学元件;环形滑轨与定距转轴同轴并设在定距转轴外侧;第二探测器能够在环形滑轨上移动;信号单元控制第一探测器和第二探测器同步采集光信号及采集第一探测器和第二探测器的光信号。

著录项

  • 公开/公告号CN113776786A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202111093944.4

  • 申请日2021-09-17

  • 分类号G01M11/02(20060101);

  • 代理机构61211 西安智邦专利商标代理有限公司;

  • 代理人董娜

  • 地址 710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号

  • 入库时间 2023-06-19 13:40:20

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