公开/公告号CN113755826A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-07
原文格式PDF
申请/专利权人 新沂市锡沂高新材料产业技术研究院有限公司;
申请/专利号CN202110985560.7
申请日2021-08-26
分类号C23C16/54(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/515(20060101);
代理机构32556 徐州千秋知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人周敏
地址 221416 江苏省徐州市新沂市北沟街道黄山路10号C栋101-102室
入库时间 2023-06-19 13:38:44
机译: 坩埚组件,一种用于控制其加热装置的方法以及一种薄膜沉积设备,该薄膜沉积设备包括能够显着提高用于加热和蒸发有机材料的工作效率的薄膜沉积设备
机译: 薄膜沉积系统,用于该薄膜沉积系统的薄膜沉积方法以及薄膜沉积控制程序
机译: 薄膜沉积装置,包括该薄膜沉积物的基板处理系统以及薄膜沉积方法