涡轮分子泵、涡轮分子泵的转子及定子

摘要

本发明提供一种涡轮分子泵、涡轮分子泵的转子及定子，其可抑制倒流并谋求排气性能的提升。涡轮分子泵包括：多段的转子翼(40)，形成有多个叶片(400)，设置在转子轴方向上；以及多段的定子翼，在转子轴方向上相对于多段的转子翼(40)交替地配置，形成有多个叶片；当将m设为所述多段的转子翼的总段数以下的大于1的正的实数，在m为自然数的情况下将K设为并非m的倍数的自然数，在m并非自然数的情况下将K设为自然数时，多段的转子翼(40)包含：翼间角度为α1的转子翼；以及相对于所述翼间角度为α1的转子翼的基准位置，基准位置相位移动了角度α1·K/m的转子翼。