使用弱标记检测半导体试样中的缺陷

摘要

公开了使用弱标记检测半导体试样中的缺陷。公开了一种对半导体试样上的感兴趣图案(POI)进行分类的系统，所述系统包括处理器和存储器电路，所述处理器和存储器电路被配置为：获得所述POI的高分辨率图像，并且根据缺陷相关分类生成可用于对所述POI进行分类的数据，其中所述生成利用已经根据训练样本训练的机器学习模型，所述训练样本包括：高分辨率训练图像，所述高分辨率训练图像是通过扫描试样上的相应训练图案捕获的，所述相应训练图案与所述POI相似；以及标签，所述标签与所述图像相关联，所述标签是所述相应训练图案的低分辨率检视的衍生物。