用于在具有旋转桨的固定的腔室中涂覆颗粒的反应器

摘要

一种用于涂覆颗粒的反应器包括：固定的真空腔室，所述固定的真空腔室用于容纳待涂布的颗粒床；在腔室的上部中的真空端口；化学输送系统，所述化学输送系统经配置以将反应物气体或前驱物气体注入腔室的下部；桨叶组件；和马达，所述马达用于旋转所述桨叶组件的驱动轴。腔室的所述下部形成半圆柱体。所述桨叶组件包括：可旋转的驱动轴，所述可旋转的驱动轴沿着所述半圆柱体的轴线延伸穿过所述腔室；和多个桨叶，所述多个桨叶从所述驱动轴径向地延伸，以使得由所述马达旋转所述驱动轴的旋转使所述多个桨叶围绕所述驱动轴运行。