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具有垂直结构的存储器装置

摘要

本公开涉及具有垂直结构的存储器装置。一种存储器装置包括:单元晶圆,其包括存储器单元阵列;以及外围晶圆,其包括控制存储器单元阵列的行控制电路、列控制电路和外围电路,外围晶圆在第一方向上层叠在单元晶圆上并接合到单元晶圆。外围晶圆包括:第一基板,其具有在第一方向上彼此背对的第一表面和第二表面;第一逻辑结构,其设置在第一基板的第一表面上,并且包括行控制电路和列控制电路;以及第二逻辑结构,其设置在第一基板的第二表面上,并且包括外围电路。

著录项

  • 公开/公告号CN113903750A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 爱思开海力士有限公司;

    申请/专利号CN202110215825.5

  • 申请日2021-02-26

  • 分类号H01L27/11573(20170101);H01L27/11582(20170101);H01L27/1157(20170101);G06F13/16(20060101);G11C16/04(20060101);G11C16/08(20060101);G11C16/24(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘久亮;黄纶伟

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2023-06-19 13:33:57

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