多带电粒子束设备及其操作方法

摘要

公开了一种降低带电粒子束设备中库仑相互作用效应的系统和方法。带电粒子束设备可以包括带电粒子源和源转换单元，该源转换单元包括：孔径透镜形成电极板，被配置为处于第一电压；孔径透镜板，被配置为处于与第一电压不同的第二电压以用于生成第一电场，使得孔径透镜形成电极板和孔径透镜板能够形成孔径透镜阵列的孔径透镜以分别使带电粒子束的多个子束聚焦；以及成像透镜，被配置为使多个子束聚焦在像平面上。带电粒子束设备可以包括物镜，该物镜被配置为将多个子束聚焦到样品的表面上并在样品的表面上形成多个探测斑。