公开/公告号CN113888482A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市赛为智能股份有限公司;
申请/专利号CN202111091895.0
申请日2021-09-17
分类号G06T7/00(20170101);G06T7/11(20170101);G06T7/12(20170101);G06T7/13(20170101);G06T7/194(20170101);G06N3/04(20060101);G06N3/08(20060101);
代理机构44242 深圳市精英专利事务所;
代理人李燕娥
地址 518000 广东省深圳市龙岗区南湾街道下李朗社区联李东路8号赛为大楼A101至15楼
入库时间 2023-06-19 13:32:21
机译: 线性缺陷检测器,半导体衬底制造设备,线性缺陷检测方法,半导体衬底制造方法,用于使计算机用作检测器或制造设备的功能的程序以及存储介质
机译: 材料缺陷检测装置,材料缺陷检测系统,材料缺陷检测方法和非暂时性计算机可读存储介质
机译: 材料缺陷检测装置,材料缺陷检测系统,材料缺陷检测方法和非暂态计算机可读存储介质