一种自适应调节的高性能正负脉冲电镀电源

摘要

本发明提供一种自适应调节的高性能正负脉冲电镀电源，包括若干个输出模块以及电源输入模块，若干个输出模块分别布设于电镀槽的不同位置，其中，输出模块包括阳极输出单元和阴极输出单元，阳极输出单元的输出端电性连接有负载的阳极，阳极输出单元与负载的阳极之间设置有电流检测部，电流检测部检测电镀电流变化以反馈电镀液的离子浓度，并发出离子浓度变化信号；阳极输出单元的输出端电性连接有电压补偿单元，电压补偿单元的输出端与负载的阳极电性连接，电压补偿单元响应于离子浓度变化信号，改变输出电压以调节负载的阳极的电镀电流。本发明具有能够根据电镀液中的金属离子浓度调节电镀时电流大小的效果。