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通过高功率脉冲低频率RF产生的高选择性、低应力、且低氢的类金刚石碳硬掩模

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摘要

本发明提供了通过使低频射频部分在高功率下脉冲化而在衬底上沉积可灰化硬掩模(AHM)的方法和相关设备。使低频功率脉冲化可用于增加AHM的选择性或减小AHM的应力。接着可利用AHM将特征蚀刻至衬底的下伏层中。

公开/公告号CN113891954A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-04

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申请/专利权人朗姆研究公司;
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申请/专利号CN202080039821.X
发明设计人马修·斯科特·韦默;普拉莫德·苏布拉莫尼姆;拉格什·普顿科维拉卡姆;白如君;大卫·弗伦奇;
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申请日2020-05-28
分类号C23C16/04(20060101);C23C16/26(20060101);C23C16/505(20060101);H01L21/32(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;张静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 13:30:50

1. 通过高功率脉冲低频率RF产生的高选择性、低应力、且低氢的类金刚石碳硬掩模 [P] . 中国专利： CN113891954A . 2022-01-04
2. 通过脉冲低频射频功率获得高选择性和低应力碳硬膜 [P] . 中国专利： CN104513973B . 2018.07.06
3. High Selectivity, Low Stress, and Low Hydrogen Diamond-Like Carbon Hard Masks with High Power Pulsed Low Frequency RF [P] . KR20220002748A . 2022-01-06

机译：具有高功率脉冲低频RF的高选择性，低应力和低氢金刚石状碳硬面罩
4. Highly selective and low stress carbon hard mask with pulsed low frequency RF power [P] . 日本专利： JP6527677B2 . 2019-06-05

机译：具有脉冲低频射频功率的高选择性，低应力碳硬掩模
5. High selectivity and low stress carbon hardmask by pulsed low frequency RF power [P] . 美国专利： US9589799B2 . 2017-03-07

机译：通过脉冲低频射频功率实现高选择性和低应力碳硬掩模